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世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较. 209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,
世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较.
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示.
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准.日本标准之表示法以Class1,Class2,Class3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得.
洁净室按用途分类(可分为两大类)
(1)、工业洁净室——以无生命微粒的控制为对象.主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态. 它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业.
(2)、生物洁净室,主要控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染.又可分为;
A、一般生物洁净室,主要控制微生物(细菌)对象的污染.同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保证正压.实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室.例:制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等.
B、生物学安全洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染.内部要保持与大气的负压.例:细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程(重组基因、疫苗制备)
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